產品詳情
無塵工業烤箱 廣泛應用于精密電子制造、半導體晶圓制造，大規模集成電路，生物制造，潔凈實驗室，航天航空等眾多工業領域。
產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。
無塵烤箱規格表
| 型號 | MOL-1F | MOL-1ND | MOL-2ND | MOL-3ND | MOL-4ND | MOL-2DF | MOL-5F | MOL-6S | MOL-7F | MOL-8WS | MOL-9WS |
| 內尺寸 WxDxH(mm) |
300*400*400 | 450*400*400 | 500*500*600 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 600*600*1000 (單箱尺寸) | 800*800*800 | 1200*600*1100 | 1200*700*1300 | 840*710*1530 (單箱尺寸) | 1010*740*1510 (單箱尺寸) |
| 外尺寸 WxDxH(mm) |
560*840*980 | 710*840*980 | 860*940*1280 | 860*1150*1780 | 1060*1250*1880 | 1500*860*1760 | 1390*1080*1600 | 1800*850*1730 | 1960*1015*2140 | 3160*1215*2455 | 3340*900*2458 |
| 電力 | 3KVA | 3KVA | 5KVA | 6KVA | 7KVA | 7KVA | 7KVA | 6KVA | 20KVA | 24KVA | 26KVA |
| 溫度范圍 | 常溫-- 200℃ （300℃） | ||||||||||
| 均勻度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1%℃ | ±1%℃ | ±1%℃ | ±1%℃ | ±1%℃ | ±2%℃ | ±2%℃ | ±2%℃ | ±2%℃ |
| 進氣量 | N2 或 Clean Air Max.100L/min | ||||||||||
| 過濾效率 | 99.97%、99.95% | ||||||||||
| 潔凈度 | 100 級、1000級 | ||||||||||
| 排氣口 | φ3 自動 | φ3 自動 | φ3 自動 | φ5 自動 | φ5 自動 | φ5 自動 | φ3 自動 | φ5 自動 | φ5 自動 | φ5 自動 | φ5 自動 |
| 選配 | 六點式溫度測試儀，打印機，溫度巡檢儀，觸摸屏，USB及電腦監控，多段可編程控制器，RS485接口和通訊軟件，無線報警系統，U盤數據儲存 | ||||||||||
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