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QCO-6F 晶圓干燥退火銀漿固化用無氧化烤箱

特點(diǎn)： 1.可設(shè)定間歇性排氣，避免氮?dú)饫速M(fèi) 2.可指示爐內(nèi)壓力，確保使用安全 3.六點(diǎn)式溫度檢測，監(jiān)控爐內(nèi)溫度 4.水循環(huán)降溫，縮短制程時間 5.內(nèi)外不銹鋼制作，方便保潔，壽命長 6.溫度均勻度良好，溫差小

所屬分類：

工業(yè)烤箱

無氧化烤箱

關(guān)鍵詞：

無氧化烤箱 QCO-6F

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產(chǎn)品詳情

簡介：無氧化烘箱在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2或者N2,形成高溫、低氧（無氧）或者潔凈環(huán)境（無氧潔凈烤箱），防止材料在烘烤時被氧化。

結(jié)構(gòu)設(shè)計：該設(shè)備是一種新型工業(yè)級干燥設(shè)備，采用長軸耐高溫大功率軸流風(fēng)機(jī)，不銹鋼渦輪扇葉，結(jié)合獨(dú)特設(shè)計風(fēng)道，智能PID溫控器結(jié)合SSR固態(tài)繼電器控制高效不銹鋼發(fā)熱器加熱，形成溫度均勻的高溫?zé)犸L(fēng)，對箱體內(nèi)部進(jìn)行加熱，確保烘箱內(nèi)部達(dá)到理想的溫度環(huán)境。

用途：適用于半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理；封裝測試；光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜、銀漿固化、模后固化、電鍍退火；基板除潮、晶圓干燥退火等

規(guī)格表

型號	QCO-3F-2D	QCO-2	QCO-2ES	QCO-2DF	QCO-4F	QCO-6F	QCO-4DF-800
電源	AC380V 50Hz 15KVA	AC380V 50Hz 6KVA	AC380V 50Hz 6KVA	AC380V 50Hz 15KVA	AC380V 50Hz 8KVA	AC380V 50Hz 12KVA	AC380V 50Hz
內(nèi)尺寸 WxDxH (mm)	710610560* 2箱	610610610	600600600	710610560* 2箱	600600900	8008001000	750800600* 4箱
外尺寸 WxDxH (mm)	146010581780	12609801060	12508501280	146010581780	9609801680	108010601780	290011001710
溫度范圍	常溫-- 250℃	常溫-- 250℃	常溫-- 200℃	常溫-- 250℃	常溫-- 200℃	常溫-- 200℃	常溫-- 250℃
溫度均勻度	±1%℃	±1%℃	±1.5%℃	±1%℃	±2%℃	±2%℃	±1%℃
結(jié)構(gòu)設(shè)計	雙門雙控	單門	單門	雙門雙控	單門	單門	四門四控
控制系統(tǒng)	采用CAHO-P961多段溫度控制器，PID自動演算，LED數(shù)字顯示及設(shè)定，薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS, 9999計時器
配置	1.采用防爆門扣； 2.空氣過濾兩點(diǎn)組合； 3.三色指示：黃色待機(jī)指示，綠色運(yùn)轉(zhuǎn)指示，紅色超溫指示； 4.配合烘烤流程，控制氮?dú)饧翱諝庵畣㈤]，避免氮?dú)饫速M(fèi)及降溫速度及設(shè)計； 5.出風(fēng)側(cè)加裝細(xì)孔不銹鋼網(wǎng)； 6.內(nèi)壓檢測裝置； 7.配備六點(diǎn)式溫度檢測儀，可實(shí)時檢測爐內(nèi)溫度，確保溫度穩(wěn)定.